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三次元儀器校準(zhǔn)流程：

1、探頭、探針傳感器、、延伸桿、觸針和標(biāo)準(zhǔn)球必須安裝可靠、牢固，無松動(dòng)和間隙。檢查安裝好的唱針和標(biāo)準(zhǔn)球是否牢固后，擦拭唱針和標(biāo)準(zhǔn)球上的指紋和污漬，保持清潔。

2、校準(zhǔn)探頭時(shí)，測(cè)量速度應(yīng)與測(cè)量速度一致。校準(zhǔn)后，觀察探頭直徑校準(zhǔn)結(jié)果與上次校準(zhǔn)結(jié)果相同時(shí)是否有較大偏差、和校準(zhǔn)時(shí)的形狀誤差。如有較大變化，請(qǐng)查明原因或清洗標(biāo)準(zhǔn)球和唱針。重復(fù)校正2至3次，觀察結(jié)果的重復(fù)程度。檢查探針、觸針和標(biāo)準(zhǔn)球是否安裝安全，并檢查機(jī)器的工作狀態(tài)。

3、當(dāng)需要多個(gè)探頭角度、位置或不同探頭長度的探針校正時(shí)，請(qǐng)?jiān)谛?zhǔn)后檢查校準(zhǔn)效果準(zhǔn)確度、。方法是:所有定義好的測(cè)頭校準(zhǔn)后，使用測(cè)球功能，依次使用所有校準(zhǔn)好的測(cè)頭對(duì)標(biāo)準(zhǔn)球進(jìn)行三維測(cè)量。觀察球體中心坐標(biāo)的變化。如果有一兩微米，這是正常的。如果有較大變化，檢查頭部、探頭、延長桿、觸針和標(biāo)準(zhǔn)球是否安裝牢固。這是造成這種現(xiàn)象的重要原因。

4、替換測(cè)試不同的軟件方法不同、，因?yàn)橛|針長度是探頭自動(dòng)校準(zhǔn)的重要參數(shù)。如果出現(xiàn)錯(cuò)誤，會(huì)導(dǎo)致唱針非正常碰撞，燈會(huì)損壞唱針，重量會(huì)導(dǎo)致測(cè)試。頭部損傷。一定要注意。

5、正確輸入標(biāo)準(zhǔn)球的直徑。根據(jù)上述校準(zhǔn)探針的原理可知，標(biāo)準(zhǔn)球的直徑值直接影響測(cè)針球徑的修正值。雖然這是一個(gè)“小概率事件”，但在新手身上可能會(huì)發(fā)生。探頭校準(zhǔn)是測(cè)量過程的重要組成部分。校準(zhǔn)中產(chǎn)生的誤差將被添加到測(cè)量結(jié)果中。特別是在使用組合探頭多探頭角度、位置和觸針長度、時(shí)，校準(zhǔn)的精度尤為重要。當(dāng)發(fā)現(xiàn)問題并重新檢查探頭校準(zhǔn)結(jié)果時(shí)，會(huì)浪費(fèi)寶貴的時(shí)間并增加大量工作。